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芯片代工巨头“哭”诉:EUV光刻,你这么皮,这样真的好的吗?

2018年04月10日 作者: 暂无评论 3,148+ 0

经历了又是一年的“沉淀”,华为海思麒麟980芯片终于有了最新消息,据多家科技媒体最新报道,华为计划将在今年第二季度推出其第二款搭载升级版本NPU的人工智能芯片,并且采用台积电最新量产的7nm制程工艺。总体看来不难预测,麒麟980无论是性能和功耗上相比麒麟970将提升一个等级·。不过,对于麒麟980 台积电最新7nm制程工艺的采用,着实让笔者感到有一丝诧异。毕竟最新高通旗舰芯片骁龙845采用的还是三星10nm工艺。

作为如今芯片代工的三大巨头之一,台积电可以说应该是最早投入量产7nm制程工艺的芯片代工厂商,据媒体报道,台积电计划今年6月份量产7nm,可以推测,麒麟980很有可能是台积电7nm工艺的第一个尝鲜者。快速“兑现”的先进工艺继续吸引着科技巨头苹果一直为其买单,苹果A系处理器几乎已落地生根在台积电生产线上,同时多年经营的品牌效应不断吸引着其它芯片厂商客户,特别目前炒的加密电子货币市场,推动这挖矿芯片需求量的剧增,据称中国专用采矿ASIC供应商Bitmain(比特大陆)强劲的12nm芯片订单已经从3月份开始推动台积电的销售业绩,据业内分析人士称,乐观估计2018年的台积电全年收入将同比增长10%以上。

而在代工领域一直被压一头的三星,一直不甘于落后,为了保住高通这个大客户,能在台积电口中抢夺苹果订单,三星在7nm工艺上一直跟台积电较着劲,近日据韩国媒体报道,三星已经提前将近半年的时间研制成功7nm,虽说相比台积电早在去年就已一小规模量产相比,晚了一段时间,但这次三星直接在7nm工艺上直接应用了EUV(极紫外光刻)技术,相比台积电依然沿用传统成熟模式的7nm,在技术工艺上先进了不少。

早在去年三星就从光刻巨头ASML(阿斯麦)一口气买了10台EUV设备,要知道ASML去年一年的产能不过才12台而已,其他厂商买不到设备,必然会影响研发EUV技术的进度,当然,这里其他厂商包括台积电、英特尔、格芯(格罗方德)这样的芯片代工竞争对手。不过,据相关媒体报道,应苹果的要求,台积电已经小批量试产EUV光刻技术的晶圆,为其7nm制程改进版本,目前在导入EUV的晶圆输出率已经大幅提升,下半年可望建立试产线,预计年底进行试产、明年正式量产,进度上已接近或超前三星,三星抢夺苹果订单的机会目前看起来并不大。那么,令芯片代工巨头们竞相追捧的EUV光刻技术到底是什么技术?又先进在哪里呢?

EUV光刻说白了相比传统光刻技术的长波光源。所需要的是波长更短,波长范围仅为10-14nm的极紫外光作为光源,能提供高分辨的蚀刻工艺是其最大的优势。不过这种光源获取难度系数很高。其实,“EUV光刻”早已不是什么新的技术名词,早在20世纪80年代就一开始研发。最早希望在半周期为70nm的节点(对应逻辑器件130nm节点)就能用上EUV光刻机。可是,这一技术一直达不到晶圆厂量产光刻所需要的技术指标和产能要求。一拖再拖,直到2016年,EUV光刻机仍然没能投入量产。晶圆厂不得不使用193nm浸没式光刻机,依靠双重光刻的办法来实现32nm存储器件、20nm和14nm逻辑器件的生产。

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